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堀　勝 低温プラズマ科学研究センター長がDPS 2020 Nishizawa Awardの受賞者に決定

2021年01月08日

堀　勝 低温プラズマ科学研究センター長が、半導体製造の科学技術分野で最も権威があり価値のあるDPS（International Symposium on Dry Process)の、DPS 2020 Nishizawa Awardの受賞者に選出されました。

DPS Nishizawa Awardは、大規模集積回路製造の基幹科学技術であるドライプロセス分野において、卓越した成果を挙げ、同分野の発展に寄与した、最も優れた研究者に授与される、世界的に権威のある賞の一つです。同賞は、半導体や光通信の基礎となる技術を開発し、「ミスター半導体」とも呼ばれた、西澤潤一博士（元東北大学総長）の独創的な業績をたたえ、2008年に創設されたものです。授賞式と記念講演は、11 月 18日に開催される第４2回DPS国際会議で行われます。

 

DPS（International Symposium on Dry Process)HP

 

http://www.dry-process.org/2021/index.html

 

 

堀　勝 低温プラズマ科学研究センター長

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