名古屋大学未来材料・システム研究所の長田 実 教授らの研究グループは、酸化物、酸化グラフェン、窒化ホウ素などの二次元物質(ナノシート)の高速・大面積成膜法(自発集積転写法)の開発に成功しました。操作は簡便であり、水面へのインク滴下と基板転写のみで、1分程度の短時間で成膜が完了します。まず、純水を入れたビーカーにナノシートのインクを数滴滴下することで、水面で流氷が並ぶように、ナノシートが自発的に並んで、ナノシート緻密膜が形成されます。このように形成したナノシート緻密膜を金魚すくい、紙すき操作で基板に転写することで、ウェハーサイズ、A4サイズのナノシート膜の成膜を実現できます。本技術は、専門的な知識、技術の必要がなく、高品質なナノシート膜の大面積成膜が可能であり、ナノシートの各種デバイスの工業的製造に向けた重要な技術に発展するものと期待されます。
本研究成果は、2024年7月7日付材料科学誌「Small」のオンライン速報版に掲載されました。
・二次元物質(ナノシート注1))の高速・大面積成膜法を開発
・水面にインク数滴滴下でナノシート膜を形成、金魚すくい、紙すき操作で基板に転写
・1分でウェハーサイズ、A4サイズのナノシート膜の成膜を実現
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注1)ナノシート:
原子1層、数層からなる物質。代表する物質としては、グラフェン、六方晶BN、遷移金属カルコゲナイド(MoS2、WS2など)、酸化物ナノシートなどがある。
論文誌:Small
タイトル:Ultrafast 2D Nanosheet Assembly via Spontaneous Spreading Phenomenon
著者:施 越(研究当時 研究員), 李 紅(大学院生), 常松裕史(研究当時 大学院生), 尾関晴美(研究業務員), 加納貴美子(研究業務員), 山本瑛祐(助教), 小林 亮(准教授), 阿部浩也(大阪大学 教授), Chun-Wei Chen(国立台湾大学 教授), 長田 実(教授)
DOI: 10.1002/smll.202403915
URL: https://doi.org/10.1002/smll.202403915